该厂为8屏幕尺寸晶圆制造线设施的超净水软件，时刻引发含硅生产废水150吨。生产废自来水中虽无血本属，但硅水分含量高易水垢，且功率电阻率需高达18MΩ·cm就可以造纸废水进行处理。本身进行处理工学艺无非实现新实施的《电子为了满足电子时代发展的需求，实业水破坏物废气量标准规范》（GB39731-2020）很大废气量卫生防护距离。 废污水因素优势 主要污染问题物 ：胶体溶液硅（200-300mg/L）、粉末硅（孔径0.1-1μm） 特别规范要求 ：TOC<10μg/L，硼浓度<5μg/L 水污染属性 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅类化合物要素比较复杂 操作工序工作流程 改革创新通过"梯级膜脱离+电去亚铁离子"组装方法： 微滤预除理 ：1μm淘瓷膜过滤大粒状硅，通量达到80LMH 正离子对调树脂胶 ：D201大孔硅橡胶可选择性吸出硅酸大分子 五级RO设计 ：第一名段回收公司率60%，其次段通过高脱硼膜构件 EDI电去阴阳离子 ：功率溶解度2A/m²，快速清掉多余化合物 红外光谱消毒 ：254nm红外光谱线用药量40mJ/cm² 技巧不足之处 设计规划专用箱阻硅剂（有机物胺类和好物），延长膜空气污染时间段3倍 EDI包块科学创新流道设计，硅取除率加强至99.8% 一直在线硅讲解仪（在测量空间0.1-500μg/L）达到优质保持 自动运行取得成效 经其两方在线检测： 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼含量的从8μg/L减少为0.3μg/L 装置收回率从原40%完善至68% 膜换洗周期性延长了至5年，年行驶利润减小35%