该的例子产自华南地一所大形半导体技术研发客户,关键分娩的模块化三极管存储芯片。在分娩的操作过程中,晶圆冲洗、蚀刻等制作工艺需动用一大批电子器件级磷酸(色度≥85%),所以行成高浓硫酸浓度含磷污水。客户现有外理基础设施不可能符合急剧从严的废气规范标准(TP≤0.5mg/L),急需要升极整改。
化工废水组成成分及起源
电镀电镀废水处理工艺处理重点从何而来于这几个要素:晶圆难以清理电镀电镀废水处理工艺处理(占总发电量60%)、机清洗电镀电镀废水处理工艺处理(30%)各类室内地面清洗电镀电镀废水处理工艺处理(10%)。污水水质特色突出表现为:pH值1.5-2.5,总磷浓硫酸浓度800-1200mg/L,氟铁离子水分含量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并包含微量分析血本属(铜、锌等)。
外理生产工艺步骤流程
新项目采用了"预解决+化学式沉淀物+二级空气氧化+角度过滤程序"的结构技术:
的调节池
:动态平衡水污染需水量,不设pH在线免费污染监测系统
二级发应池
:添加生石灰粉乳设定pH至8.5-9.0,成型Ca3(PO4)2奠定
一级作用池
:加入PAC和PAM加强二沉池结果
斜板沉积池
:进行固液拆分,活性污泥进人脱水怎么办系统
Fenton氧化的象限
:H2O2与Fe²⁺协作用途可降解有机酸物
多媒质进行管道过滤器
:石英砂砂+活性酶炭结构净化,有效确保喷水浑浊
亚铁离子互换整体
:进那步出掉残渣轻金属阴阳离子
然后效果好
体系启用安稳后,有水出水源:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟铝离子≤5mg/L,哪项指标图高于《电子器件工业园水空气有害物质排放标准规定规定》(GB 39731-2020)。每人每年极大减少磷排放标准规定约15吨,飞灰形成量较传统与现代施工工艺下降40%,启用利润操控在8.两元/吨水。