该晶圆工作制造九正通明属于苏北地区划分,核心工作制造89英寸半导体材料晶圆,每日生活污水废气量约800吨。由工作制造具体步骤中操作许多氢佛酸采取晶圆蚀刻,致使生活污水底氟化物渗透压将高达200-300mg/L,远超祖国废气规范标准(10mg/L一下)。
废水处理工艺成分表及来自
废水处理工艺基本来源3个阶段:
晶圆蚀刻工作
:含高氧浓度氟化物(HF)、硝酸铵及一些高价属
有机化学机器拋光(CMP)生活污水
:含微米级硅颗粒状、无机络合剂
主设备洁净化工废水
:含异丙醇、挥发酚等有机肥料物
处里的工艺环节
主要采用"检查是否沉积物+混凝土沉积物+广度吸附"一级办理软件:
6级加工
:加药系统氯化钙和氢脱色钙,确立氟化钙沉垫,氟化物快速清理率达85%
中级处理
:增长PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),除去固体态生态破坏物
二级治理
:依据多材质过滤程序器和物理吸附性炭物理吸附,有水出氟化物渗透压可靠在8mg/L有以下
重中之重专用设备还有:pH电脑自动自动调节整体、斜管乳浊液池、板框压泥机(飞灰过滤)。
终究成果
活动运动两年的数据监测的数据现示:
氟化物平均水平盐浓度:7.2mg/L(超过祖国细则)
COD的还原率:92%
厌氧颗粒污泥含水量率:≤65%
年回收并氟化钙副设备约150吨,实现了能源化进行